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能譜線掃一般怎么進(jìn)行定量/半定量分析 已有1人參與
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對(duì)界面能譜進(jìn)行定量/半定量分析，點(diǎn)掃、線掃、面掃是怎么選擇的？如果成分相差在5%以?xún)?nèi)，是不是選擇線掃比較好一點(diǎn)？ 定量分析，對(duì)SEM EDS進(jìn)行操作有什么注意事項(xiàng)？線掃和面掃，是看穩(wěn)定，線掃結(jié)果不再有大的變化嗎 |
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gxytju2008
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| 5%的定量精度看元素，不同的都不一樣，而且要看表樣校準(zhǔn)，隨便拿一個(gè)儀器基本都很難達(dá)到這個(gè)水平，定量準(zhǔn)度線掃mapping不會(huì)有啥區(qū)別，個(gè)人傾向mapping，至少有沒(méi)有drift會(huì)很清楚，線掃樣品飄到哪去都不清楚，總之就是eds定量不是很靠譜的，除非富集很明顯，否則不要用這個(gè)給出定量結(jié)論，很不靠譜的 |
lenko2樓2020-08-26 12:05:40
3樓2020-08-26 12:55:10
gxytju2008
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lenko: 金幣+10, ★★★★★最佳答案 2020-08-28 15:04:08
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mapping趨勢(shì)都不明顯，那說(shuō)明根本沒(méi)啥可見(jiàn)的區(qū)別，線掃的變化很有可能只是假象，1wt%以下可以認(rèn)為不存在了，不過(guò)問(wèn)題在于你確定這個(gè)1%靠譜么，你具體要分析啥元素，C這種輕元素EDS根本不可靠，你說(shuō)有或者沒(méi)有都很難，EPMA定量性強(qiáng)很多，不過(guò)問(wèn)題在于也要有表樣校準(zhǔn)的，可能一兩周一個(gè)月就要做一次，現(xiàn)在很少有儀器維護(hù)到這個(gè)程度的，不校準(zhǔn)還是不靠譜的，另外就是校準(zhǔn)用的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)和你材料的差異要越小越好，否則也不準(zhǔn)，這個(gè)其實(shí)很難做到，所以大部分也只是理論上比較準(zhǔn)，實(shí)際能不能定量還是難說(shuō) |
4樓2020-08-26 13:22:03
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