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SEM線掃怎么處理 已有1人參與
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SEM線掃結(jié)果一般怎么處理,線掃的曲線怎樣的平滑不會失去原有的信息? 另外就是,在做線掃的時候,線掃結(jié)果,橫坐標(biāo)標(biāo)尺錯誤,該怎么辦?SEM圖片上的標(biāo)尺是正確的 |
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沒辦法,說明你做的信噪比太差,或者截面本來就不sharp,重新掃增加時間,增大spot size,甚至切fib用透射電鏡做,都可能部分解決這個問題,平滑肯定不合適 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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至尊木蟲 (職業(yè)作家)
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