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yilinW_19新蟲 (初入文壇)
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[求助]
HF腐蝕晶硅電池氧化硅，背部已做好鈍化層和銀電極，如何操作不破壞背部？
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| 晶硅電池背部結(jié)構(gòu)為Si/SiOx/AlOx/SiN/Ag，電池大小為2 cm×2 cm 。前表面氧化硅層約10 nm厚，我可以通過調(diào)控氫氟酸的濃度和處理時間來腐蝕氧化硅，但樣品前表面飄在氫氟酸上時，還是會有酸滲入腐蝕背部的氧化硅和氧化鋁，如何操作才能避免破壞背部鈍化層呢？ |
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3樓2020-08-22 11:24:53
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2樓2020-08-21 13:22:36
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