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為什么反外延工藝的應用范圍不如正外延工藝？
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常規(guī)的外延工藝是正外延工藝（在重摻雜材料上外延輕摻雜材料），在PIN管制作中，一般I區(qū)是在重摻雜N區(qū)上外延行成，那為什么P+區(qū)的形成都是靠擴散，能不能采用反外延工藝呢？ 先謝過各位同學 |
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