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搗鈴兒新蟲 (小有名氣)
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[求助]
磷酸溶液摻雜更容易拋光的原因
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| 在摻雜硅片過程中，發(fā)現(xiàn)三氯氧磷氣相沉積，熱處理后不容易在堿性條件下正面拋光，而磷酸旋涂沉積后，經(jīng)過熱處理，在堿性條件下很容易正面拋光。堿性條件為氫氧化鉀溶液 |
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2樓2020-06-16 15:01:52
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