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[交流]
原子層沉積(ALD)
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我平時主要用ald沉積氧化物,比如氧化鋁、氧化鉿、氧化鋯、氧化鈦、氮化鈦;以上氧化物在平面上沉積的薄膜各方面質(zhì)量都非常好。最近在給一家公司做技術(shù)服務(wù)的時候,發(fā)現(xiàn)生長的柱體樣品的時候會有輕微色差,請問是什么原因,謝謝。 補充氮化鈦的速率交流一下 [ Last edited by xiaohouzidz on 2023-11-4 at 09:13 ] |
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