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最妙微云新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助關(guān)于無機(jī)柔性薄膜相關(guān)知識(shí) 已有1人參與
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最近在看柔性無機(jī)薄膜相關(guān)的文章，看到有幾篇是這樣的文章：在云母基底上涂上一層LaNiO3作為底電極，然后再在LaNiO3底電極上旋涂上若干層薄膜，最后在薄膜上鍍上金作為頂電極，想問問大家，有知道這樣做完后，底電極怎么露出來參與性能測試呢？個(gè)人感覺用刀片刮不現(xiàn)實(shí)吧，又分不清哪個(gè)是薄膜哪個(gè)是LaNiO3底電極。請各位大神分析分析 實(shí)在想不通 |
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yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
最妙微云: 金幣+41, ★★★很有幫助, 非常感謝您的幫助，受益匪淺！ 2020-05-30 14:58:22
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
最妙微云: 金幣+41, ★★★很有幫助, 非常感謝您的幫助，受益匪淺！ 2020-05-30 14:58:22
| 比較復(fù)雜的，是用光刻和腐蝕，或則是lift off的方法，在做薄膜的時(shí)候，把底電極暴露出來。在做頂電極的時(shí)候，用同樣的方法來做，這樣就可以實(shí)現(xiàn)不同層之間的位置不同，方便測試。像這種微納加工的方法做，建議找研材微納這樣的公司做，畢竟需要專門的設(shè)備和材料。但是一般情況下，是不需要用光刻這么復(fù)雜的技術(shù)的，用膠帶就可以。在做完底電極后，貼一小塊膠帶在基底上，然后再旋涂你的薄膜。再貼一片稍微大一點(diǎn)的膠帶在第一片膠帶位置上，完全覆蓋，再做金電極。完成后，撕掉兩層膠帶，底部電極暴露，你就可以測試了。光刻的方式，比較適合在水平尺寸很小的地方使用。 |
2樓2020-05-29 12:05:22
小李！
新蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
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- 帖子: 110
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- 注冊: 2018-06-06
- 性別: GG
- 專業(yè): 無機(jī)非金屬類光電信息與功
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你好，我是在云母上沉積的電極薄膜，在思考怎么測性能，膠帶撕的話只能撕掉底部的幾層云母，還是說在云母上先沉積集流體，那又該怎樣測試呢，謝謝。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2020-12-29 20:51:03
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