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moon.sun至尊木蟲 (正式寫手)
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[求助]
旋涂工藝中的動態(tài)滴膠是什么操作？
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| 在有機(jī)光伏材料中，制備薄膜的方法有旋涂法，旋涂法有靜態(tài)滴膠和動態(tài)滴膠，動態(tài)滴膠是如何操作的？另外，多滴旋涂又是怎么回事？求大神指點(diǎn)迷津！ |
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新蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 聚合物共混與復(fù)合材料
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靜態(tài)滴膠就是簡單地把光刻膠滴注到靜止的基片表面的中心，滴膠量為1-10ml不等。滴膠的多少應(yīng)根據(jù)光刻膠的粘度和基片的大小來確定。 ? 粘度比較高或基片比較大，往往需要滴較多的膠，以保證在高速旋轉(zhuǎn)階段整個基片上都涂到膠。動態(tài)滴膠方式是在基片低速(通常在500轉(zhuǎn)/分左右)旋轉(zhuǎn)的同時進(jìn)行滴膠，“動態(tài)”的作用是讓光刻膠容易在基片上鋪展開，減少光刻膠的浪費(fèi)，采用動態(tài)滴膠不需要很多光刻膠就能潤濕(鋪展覆蓋)整個基片表面。 ? 尤其是當(dāng)光刻膠或基片本身潤濕性不好的情況下，動態(tài)滴膠尤其適用，不會產(chǎn)生針孔。 ? 滴膠之后，下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄達(dá)到最終要求的膜厚，這個階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分，轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度，溶劑揮發(fā)速度，固體含量以及表面張力等)以及基片的大小。快速旋轉(zhuǎn)的時間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時間往往能決定最終膠膜的厚度。 ? 一般來說，勻膠轉(zhuǎn)速快，時間長，膜厚就薄。影響勻膠過程的可變因素很多，這些因素在勻膠時往往相互抵銷并趨于平衡。所以給予勻膠過程以足夠的時間，讓諸多影響因素達(dá)到平衡。勻膠工藝中最重要的一個因素就是可重復(fù)性。微細(xì)的工藝參數(shù)變化會帶來薄膜特性巨大的差異。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2021-03-06 18:30:11
呼啦啦1207
新蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 電機(jī)與電器
2樓2021-02-04 11:59:07
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