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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 設計與制備 » 磁控濺射無法啟輝
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[交流]
磁控濺射無法啟輝 已有3人參與
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重新清理了靶面和腔室，靶材也清潔了，反射功率還是太大了，全自動的又沒辦法調(diào)節(jié)，射頻電源可以自己檢查問題嗎？最主要的是找不到問題，大家有什么好的建議嗎 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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