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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 氮化硅（SiNx）刻蝕
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czcdxmc木蟲 (正式寫手)
MEMS小學生
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[交流]
氮化硅（SiNx）刻蝕
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ICP腔室刻蝕Si后，刻蝕SiNx的plasma不能正常工作。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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5樓2020-04-21 21:35:48
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2樓2020-04-14 19:56:28
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3樓2020-04-14 20:03:18
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4樓2020-04-14 21:30:07
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