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胡干的兄弟新蟲 (初入文壇)
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[交流]
氣體流量控制器常見故障分析及解決方法
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最近我們收到很多使用氣體流量控制器（MFC）的高校研究機構(gòu)的客戶，反應(yīng)如下問題： 1.MFC經(jīng)常會堵塞。 2.流量顯示會有負數(shù)。 3.流量顯示“EEEE”或是超過MFC量程。 4.流量不穩(wěn)定。 針對以上問題，做出如下解答： 1.需要確定管路的結(jié)構(gòu)，是否存在類似緩沖罐，升壓罐，混氣罐的裝置。 若有，需要確定他們是否能正常工作，如果能正常工作，則排除此隱患。 如果此類裝置發(fā)生堵塞，容造成密閉罐內(nèi)壓力上升，超過進氣壓力，從而MFC顯示負數(shù)或流量顯示為0. 2.確定MFC和管路的連接頭是否正常連接，有無漏氣的可能。 常用的3mm或6mm雙卡套接頭在安裝過程中，經(jīng)常會出現(xiàn)沒有將鋼管安裝到位即卡套沒有完好的卡在鋼管上。 采用硅膠管的朋友，不要將硅膠管套在MFC管接頭上即完成，需要用綁緊帶綁緊密封。 使用四氟管的朋友在購買管子時，需要量好四氟管外徑，有時6mm四氟管的外徑只有5.5-5.8mm。 此類故障容易造成MFC流量顯示不穩(wěn)定。 3.顯示負數(shù)。 請檢查MFC的安裝位置是否正確，即每臺MFC都有流向指示標(biāo)，進出氣需要與指示標(biāo)保持一致。 4.超量程。 進氣壓力于出氣壓力差，即MFC的壓差超過MFC的最大規(guī)定值。 5.堵塞。 要了解MFC使用氣體的種類是否為遇到空氣會固化的類型，例如硅烷。如果是，很可能是漏氣導(dǎo)致氣體粉末化，堵住傳感器通道。 反應(yīng)中的水由于虹吸效應(yīng)進入MFC，于反應(yīng)氣發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)生結(jié)晶體堵塞MFC。 解決方法： 解決此類問題最好的方法，是在管路設(shè)計之初，增加一些必要的閥門和管件。 在MFC前后使用的閥門可以按照如下設(shè)計： 氣源瓶-->過濾器（建議0.5-1μ）-->手動球閥（或是電動截止閥）-->MFC-->單向閥-->其他配件 以上方案為一家之言，大家勿噴。  |
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