光學(xué)輪廓儀、3D輪廓儀、白光干涉儀、激光干涉儀、輪廓儀
深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟2樓
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表面形貌測量利器——SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀
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superview w1光學(xué)3d表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密z向掃描模塊、3d 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3d圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3d圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2d、3d參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3d測量的光學(xué)檢測儀器。 superview w1光學(xué)3d表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3c電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、mems器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)iso/asme/eur/gbt四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2d、3d參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。 superview w1光學(xué)3d表面輪廓儀顯著特性： 1.高精度、高重復(fù)性 1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密z向掃描模塊和優(yōu)異的3d重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高； 2）獨(dú)特的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得極高的測量重復(fù)性。 2.一體化操作的測量分析軟件 1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能； 2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時觀察掃描過程； 3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程； 4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全； 5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能； 6）可測依據(jù)iso/asme/eur/gbt等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2d、3d參數(shù)。 3.精密操縱手柄 集成x、y、z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、z向聚焦、找條紋等測量前工作。 4.雙重防撞保護(hù)措施 除初級的軟件zstop設(shè)置z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，最大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險。 5.雙通道氣浮隔振系統(tǒng) 既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。 |
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3樓2020-02-28 15:42:21
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4樓2020-02-28 16:06:48
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5樓2020-02-29 09:02:38
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8樓2020-02-29 18:32:32
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9樓2020-03-01 15:16:51
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10樓2020-03-01 21:01:06
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