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SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀助推高?蒲邪l(fā)展
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SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。 在各高校機(jī)械、材料、電子技術(shù)、超精密加工、微納器件、光電等實(shí)驗(yàn)室都可以看到SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀的身影。 SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀顯著特性: 1.高精度、高重復(fù)性 1)采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高; 2)獨(dú)特的隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得極高的測量重復(fù)性。 2.一體化操作的測量分析軟件 1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能; 2)可視化窗口,便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程; 3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測量與分析過程; 4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全; 5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能; 6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。 3.精密操縱手柄 集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。 4.雙重防撞保護(hù)措施 除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),最大限度的保護(hù)儀器,降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。 5.雙通道氣浮隔振系統(tǒng) 既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。 |
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