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akzhuzhe銅蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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請(qǐng)教溶膠凝膠法生長(zhǎng)薄膜,勻膠機(jī)甩膜時(shí),是轉(zhuǎn)起來(lái)再滴還是先滴再轉(zhuǎn)
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請(qǐng)教溶膠凝膠法生長(zhǎng)薄膜,勻膠機(jī)甩膜時(shí),是轉(zhuǎn)起來(lái)再滴還是先滴再轉(zhuǎn),這兩種方式有什么區(qū)別呢?另外,先低速轉(zhuǎn),再高速轉(zhuǎn),還是直接高速轉(zhuǎn)即可? [ last edited by akzhuzhe on 2020-1-13 at 08:23 ] |

專(zhuān)家顧問(wèn) (著名寫(xiě)手)
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專(zhuān)家經(jīng)驗(yàn): +651 |
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手動(dòng)設(shè)備肯定是先滴再轉(zhuǎn)。因?yàn)榻^大部分手動(dòng)設(shè)備沒(méi)辦法在低轉(zhuǎn)速段精確控制,而且大部分設(shè)備只能設(shè)定一個(gè)低轉(zhuǎn)速段,而滴膠的低轉(zhuǎn)速和攤開(kāi)膠的低轉(zhuǎn)速是不同的。 自動(dòng)設(shè)備是可以轉(zhuǎn)起來(lái)再滴的,但是轉(zhuǎn)速要很低,否則液體會(huì)飛濺。是否需要,要看襯底尺寸和旋涂厚度及光刻膠種類(lèi)。 |
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

銅蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

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