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dingyang41鐵蟲 (初入文壇)
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[交流]
ALD尤其是PEALD相關(guān)機(jī)理 已有1人參與
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各位大佬，哪位朋友能給推薦兩文獻(xiàn)或者專著介紹ALD機(jī)理的啊，比如說前驅(qū)體流量對成膜的影響啊等等的……現(xiàn)在看網(wǎng)上的相關(guān)信息感覺講得都太淺了，都是面上泛泛的信息……感謝…… 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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2樓2020-03-19 21:06:21
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