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yilinW_19新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助大家，硝酸氧化、熱氧化n型晶硅，硅的少子壽命不升反降，這會是什么原因呢 已有1人參與
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大家好，本人目前研一，我用濃度為65％-68％的硝酸氧化n型晶硅，嘗試過用110℃、115℃、120℃、130℃油浴硝酸加熱n型晶硅10-30min，清洗后的裸硅少子壽命用少子壽命測量儀WT2000PV測得為20多μs，但是以上溫度氧化后測得的硅片的少子壽命反而均降低為2點(diǎn)多μs。 也用過管式爐做熱氧化，氧化溫度為500℃，時間為30min，也是2點(diǎn)多μs。 我向我的老師反應(yīng)后，他表示我的硝酸氧化溫度設(shè)定得太高，我按照已有的專利降低為65℃、氧化10min，少子壽命更是降低為1.7多μs；今天也嘗試了專利的混酸氧化法:68％硝酸與98％硫酸體積比3:1在室溫下氧化4min，得到的少子壽命也是1.7μs。 實(shí)驗(yàn)已經(jīng)做了十幾次，到現(xiàn)在還是沒有一點(diǎn)進(jìn)展，我也不知道問題出在了哪里，請求大家能給我一些指點(diǎn)，讓我能夠安心過個好年 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2021-02-23 21:16:38
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