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什么是化學(xué)氣相沉積
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以下描述的實驗過程屬于化學(xué)氣相沉積嗎，乙醇是碳源，碳質(zhì)層沉積在ZnO表面，ZnO通過H2還原移除。 The ethanol gas as a green carbon source was introduced into the tubular furnace with ZnO template via a N2 gas carrier with a flow rate of 50 sccm at 500 °C for 3 h. Then switching the gas to the H2/Ar (5 vol% H2), the ZnO template was reduced by H2 and the reduction product zinc evaporated completely at 800 °C for 4 h. The porous CBFs were then obtained. |
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