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[求助]
請(qǐng)問(wèn)哪里可以加工孔徑1um以下掩模版或光刻板？用于超分辨成像 已有2人參與
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課題組在做一個(gè)超分辨熒光成像的項(xiàng)目，需要加工小于1um的簡(jiǎn)單圖形（如圓孔，直線，字母）。 本打算直接按照?qǐng)D形設(shè)計(jì)掩模版，但問(wèn)了幾家最小特征尺寸都在1~2um。 學(xué)校實(shí)驗(yàn)室人員不熟練EBL，刻畫出來(lái)的圖形周圍有很多孔洞，不滿足我們的實(shí)驗(yàn)要求。 求問(wèn)有什么辦法能直接加工圖形在0.5um左右的掩模版？ 謝謝！ |
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8樓2022-08-12 11:10:50
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