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Audrey_1994新蟲 (初入文壇)
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[求助]
CZTS太陽能電池窗口層AZO薄膜制備電阻大
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各位大神,目前在組裝CZTS太陽能電池時磁控濺射制備AZO窗口層出現(xiàn)了問題。AZO電阻特別大,做了XRD結(jié)晶度差,未出現(xiàn)(002)峰取向。目前我用的真空鍍膜設(shè)備真空度是1*10-3Pa(本底真空度),是我的真空度不高導(dǎo)致AZO結(jié)晶不好嗎?求大神指教 |
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