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請問用于刻蝕制作脊型波導(dǎo)的SOI片選擇參數(shù)應(yīng)該注意哪些？
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| 各位蟲友，自己根據(jù)文獻(xiàn)設(shè)計(jì)了一個(gè)波導(dǎo)結(jié)構(gòu)用來覆蓋石墨烯，按照文獻(xiàn)中的選材使用商用的SOI片進(jìn)行加工，就是對上層的硅刻蝕成為一個(gè)脊型波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，然后加上下面氧化硅和上面的空氣包層形成一個(gè)波導(dǎo)。但是在選購SOI的時(shí)候自己手里只有硅層和氧化硅層的厚度參數(shù)，對剩下的摻雜、晶向和電阻率參數(shù)就不知道應(yīng)該做什么要求了，想問一下有沒有有經(jīng)驗(yàn)的朋友告知一下上述參數(shù)對于實(shí)際波導(dǎo)的性能有什么影響，合理的選擇應(yīng)該是怎樣的？*（比如載流子濃度會受到偏壓影響進(jìn)而改變折射率，所以我想的是用本征硅） |
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工藝混子
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
3樓2020-03-05 20:21:21
2樓2019-11-15 23:15:21
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