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磁控濺射純Cr氧含量高 已有4人參與
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用直流磁控濺射純金屬Cr,表面EDS面掃O含量高(15at%),請教這是什么原因 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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金蟲 (正式寫手)
新蟲 (小有名氣)
捐助貴賓 (正式寫手)
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請問磁控濺射制備的涂層結(jié)合力差可能是什么原因?基底是SiC陶瓷熱膨脹系數(shù)4.5,涂層是Cr,熱膨脹系數(shù)6.2,是工藝參數(shù)問題嗎? 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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