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[求助]
ald長(zhǎng)出來(lái)的氧化鋅導(dǎo)電性很差
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| 大家好！最近在研究氧化鋅的ald沉積，100度左右做出來(lái)的樣品resistivity大概是100 ohm cm，屬于文獻(xiàn)中報(bào)道的比較高的值，在文獻(xiàn)中看到pulsed laser deposition能做出更導(dǎo)電的樣品 請(qǐng)問(wèn)一下有經(jīng)驗(yàn)的朋友 在現(xiàn)有ald的情況下 除了摻雜 還有什么方法能夠提高導(dǎo)電率嗎 謝謝！ |
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2樓2019-11-19 19:51:19
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