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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 石英玻璃晶圓咨詢
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武陽回家新蟲 (著名寫手)
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[求助]
石英玻璃晶圓咨詢
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蟲友們，請問哪里提供高質量4英寸石英玻璃晶圓？ 具體要求如下：（1）粗糙度越低越好：Ra<0.25nm，Rq<0.3nm；（2）TTV<1um；（3）Bow<15um，warp<20um；（4）外徑公差+-0.1mm；（5）厚度400+-5um或500+-5um；（6）對準平邊：32.5+-2mm；（7）外觀：20-10；（8）超凈間包裝；（9）其他要求參見國家標準——光刻用石英玻璃晶圓。 |
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2樓2019-09-26 11:13:32
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3樓2019-09-26 13:05:06
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4樓2019-12-27 10:31:40
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5樓2020-04-04 08:23:58
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