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lawles新蟲(chóng) (初入文壇)
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[求助]
我之所以要用到光刻膠是為了制作紙質(zhì)叉指電極，由于導(dǎo)師和我都是...
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我之所以要用到光刻膠是為了制作紙質(zhì)叉指電極，由于導(dǎo)師和我都是第一次接觸光刻膠，遇到問(wèn)題后難以解決，所以煩請(qǐng)大神能夠不吝賜教，下面是我的操作步驟，謝謝 1)濾紙作為基底，SU-8 1070作為光刻膠 以600rpm速率勻膠后，65℃預(yù)烘15min,95℃預(yù)烘4h. 2)20W的LED紫外燈曝光45s 3)65℃后烘15min，95℃后烘45min 4)使用PGMEA顯影 5)135℃堅(jiān)膜2h 現(xiàn)在遇到問(wèn)題是在顯影過(guò)程中發(fā)現(xiàn)未曝光部分的膠在顯影液形成凝膠體后卻難以分解，以至于底部總有膠殘留 @yswyx 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
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2樓2019-09-01 19:19:49
lawles
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3樓2019-09-02 09:02:37
眾志啟成
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4樓2019-09-02 12:03:42
lawles
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但是我一旦浸泡稍久，固化的膠就會(huì)被破壞，或許是因?yàn)樽贤夤庹丈鋾r(shí)間不夠或者是濾紙作為基底導(dǎo)致結(jié)合不好？ 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
5樓2019-09-03 08:40:00
小孩兒0123
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6樓2019-09-08 19:22:04
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