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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納器件 » 磁控濺射工作壓強和真空壓強
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ws4231153新蟲 (小有名氣)
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[交流]
磁控濺射工作壓強和真空壓強 已有5人參與
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如題，真空壓強我能理解，疑惑的是工作壓強是通了Ar氣的流量壓強嗎？有點搞不清楚 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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3樓2019-08-21 08:23:14
bobo201266
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2樓2019-08-20 11:41:56
★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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Hi 題主： 首先想問下你對真空壓強是如何理解的呢？ 首先是壓強問題，壓強產生的原因是氣體分子碰撞器壁產生。不同的壓強計工作原理不一樣，比如ionization gauge，它就是由殘留氣體分子離子化，探測離子電流從而轉化為對應壓強。那么前提還是要有氣體分子對吧。沒有絕對真空的環(huán)境，只要有氣體分子并且在絕對零度之上，那么分子熱運動就會使它運動并且存在碰撞墻壁的幾率，從而產生壓強。 所謂的真空壓強，就是因為pump們無法真正抽干凈chamber里的氣體分子，包括水分子，氧氣分子，一氧化碳分子，惰性氣體原子甚至金屬氣態(tài)原子等等。這時候的壓強是集體作用的結果，但如果單說某一種氣體分子，比如氧氣的分壓，那就要叫做partial pressure. 而在磁控濺射中，我們打開了氬氣的閥門，通入了氬氣氣體。舉個常見的例子，在UHV的chamber中，壓強能達到10^-8Pa，磁控濺射可能要用10^-3Pa的氬氣（具體我記不清了，很久之前做的磁控濺射�，F在我用的無磁控sputter一般用10^-3Pa），這一下子大了5個數量級。那么誰是主導呢？當然是氬氣。 但是你要有個意識，此時的壓強，還是所有分子共同作用的結果，因為gauge并不會區(qū)分氣態(tài)分子原子的不同。但由于是氬氣主導，所以我們近似認為，此時壓強就是氬氣壓強。 你所說的流量壓強，抱歉我還是第一次聽這個稱呼。一般來說流量就是流量，SCCM是其單位，standard cubic centimeter per minute，標準狀況下毫升每分鐘。而壓強是Pa，所以這兩者不可以混為一談。他們之間的聯系你可以這樣想象：氬氣通過管道進入真空艙，在管道里有一個探測流量的裝置給出了流量單位，很明顯這跟你的管道直徑流速等等有關系。而進入到真空艙的氬氣放飛了自我，各種碰壁，產生了壓強被gauge檢測到。而這些氬氣將會起到濺射功能，不再會按照某個特定方向“流動”，也就沒有必要算流量了。 而流量和壓強之間也肯定是有關系了，你想想看其他條件不變的前提下，你流量越大，進入真空艙的氬氣分子越多，產生的壓強肯定也越大。但是這還與pump的工作效率有關系，總之這是一個復雜的問題，但卻不需要復雜地想。你要注意通過單位區(qū)分二者的不同。 祝好。 |
5樓2019-08-25 00:21:32
haohao119
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6樓2019-08-27 09:29:30
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