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溶膠凝膠旋涂法制膜，退火后膜表面出現(xiàn)大量裂紋 已有1人參與
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我最近在用溶膠凝膠旋涂法制氧化物薄膜，熱解采用快去熱解爐，熱解完膜較好，退火也采用快速熱解爐，但是退火完膜表面出現(xiàn)大量明顯的裂紋，請問哪位大神能給出個解決辦法嗎？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2019-08-20 09:36:39
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