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Kingchan01新蟲 (正式寫手)
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[求助]
求一種合適的倒模材料
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制備某種結(jié)構(gòu)光刻SU-8時(shí)為了套刻的可靠性制備了反向的結(jié)構(gòu)，從而需要兩次倒模將該結(jié)構(gòu)由SU-8轉(zhuǎn)換為PDMS，使用PDMS double cast時(shí)，即使對第一次得到的PDMS結(jié)構(gòu)用甲基三氯硅烷處理后，深寬比（后稱比值）較大（比如寬2微米高4微米）的結(jié)構(gòu)在兩PDMS分離時(shí)會有一邊斷裂殘留在另一邊里面，將第一次的PDMS材料換成norland公司的UV膠NOA 68時(shí)對比值略小于2的結(jié)構(gòu)制備可以成功，但是若比值大于2，NOA 68與SU-8分離時(shí)前者會斷裂殘留在后者的深坑中。不知哪位大神有相關(guān)的經(jīng)驗(yàn)或者理論知識，可以助我找到一種合適中間材料替代該NOA 68，以成功制備比值大于2的PDMS微米結(jié)構(gòu)。我覺得可能材料的模量和抗拉強(qiáng)度是比較重要的參數(shù)，請教一下更具體的要求或更好推薦一種合適的方便加工的材料（比如光照或加熱即可固化成型）。謝謝！ @yswyx @神魔流轉(zhuǎn) 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2019-08-14 13:53:45
Leon1995
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 46.6
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- 蟲號: 15264466
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- 專業(yè): 仿生材料
3樓2020-01-02 23:57:59
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