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不負(fù)耕耘鐵蟲 (初入文壇)
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求助：1、實(shí)驗(yàn)室采用的CHF3反應(yīng)離子束刻蝕機(jī)，在離子源中三氟甲烷會被
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求助：1、實(shí)驗(yàn)室采用的CHF3反應(yīng)離子束刻蝕機(jī)，在離子源中三氟甲烷會被電離，這個(gè)過程中會產(chǎn)生自由基𝐻∗ 、 𝐹∗和 𝐶𝐻𝐹2∗ 等嗎？自由基H和F會結(jié)合成HF酸嗎？ ２、在刻蝕石英過程中，加速的離子會濺射出硅原子和氧原子，那么ｓｉ和ｏ會怎么結(jié)合呢？會ｓｉ變成ｓｉ單質(zhì)，ｏ變成氧氣？ 感謝知道的解答一下，或者發(fā)表一下看法！謝謝謝謝！  |
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