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laibaoning銅蟲(chóng) (小有名氣)
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[交流]
大佬們能否透露下器件鍍電極形成歐姆接觸的工藝 已有4人參與
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研一小白,做PD要GaAs上鍍電極形成歐姆接觸,大佬有沒(méi)有相關(guān)經(jīng)驗(yàn)的傳授下退火工藝如何? 另外我看文獻(xiàn)中的電極 Au:Ge=88:12 這個(gè)是什么意思?比例混合?分子蒸鍍不是一個(gè)坩堝一個(gè)坩堝蒸鍍嗎,怎么能混合?莫非還是按電極厚度等比例電鍍,有先后順序之分嗎? |
金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
銅蟲(chóng) (小有名氣)
鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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本質(zhì)上沒(méi)什么區(qū)別,都是靠ge形成ohmic,ni增加電極粘附強(qiáng)度 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
鐵桿木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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ni在au和ge之間還可以理解為blocker layer。你這個(gè)為什么把ni放在兩層au之間? 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
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新蟲(chóng) (小有名氣)
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