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關(guān)于SiC刻蝕的問(wèn)題 已有3人參與
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| SiC刻蝕300um左右的深度，一般用什么金屬當(dāng)掩膜，選擇比是多少？ |
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丘米哈哈
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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刻這么深，常用Ni掩膜，現(xiàn)在一般的ICP都不愿意做，刻完你這一片，機(jī)臺(tái)得開(kāi)腔清洗了。除非是專門刻SiC的腔體了。 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
4樓2020-03-06 19:56:43
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