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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » PI膠固化
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| 查看: 3862 | 回復(fù): 10 | ||||
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MEMS_er新蟲 (初入文壇)
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[求助]
PI膠固化 已有5人參與
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PI膠固化后，老是起很多氣泡，有人知道是什么原因嗎，涂膠沒有什么問題的 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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8樓2019-07-15 18:30:53
13813921817
木蟲之王 (文壇精英)
上善若水，利萬物而不爭
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2樓2019-07-02 13:03:24
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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幾種可能。 有可能是本身PI膠中有微泡，如果膠的粘度大，那么這種微泡存在的概率很大。 二是襯底本身不夠干燥，但一般會導(dǎo)致直接脫落，以氣泡形式存在的比較少見。也要看你的PI是親水還是憎水的。 再就是旋涂工藝的問題，要看你用的什么設(shè)備和參數(shù)，有時候需要在低速攤開后稍微靜置幾十秒再高速轉(zhuǎn)，能減少氣泡。 還有，就是前面都非常順利，只是最后固化的時候產(chǎn)生氣泡，那就要考慮PI膠本身和襯底表面質(zhì)量的問題了。 如果是研材微納買的PI膠，可以直接找他們技術(shù)部門進行咨詢。 |
3樓2019-07-02 13:29:12
眾志啟成
金蟲 (正式寫手)
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4樓2019-07-02 15:09:20
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