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[求助]
磁控濺射參數(shù)問(wèn)題
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現(xiàn)在用磁控濺射射頻源濺射石墨靶，氣壓0.5到1pa，氣體流量20，30 功率從70到150w都有,濺射一小時(shí)但是襯底上沒(méi)有膜，或者是非常非常薄的膜。這樣設(shè)置有錯(cuò)誤嗎？ @hwweven 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
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2樓2019-06-19 06:44:57
理工小偉
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3樓2019-06-19 22:23:50
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4樓2019-06-19 22:24:32
5樓2019-06-26 18:04:45
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今天延長(zhǎng)到2.5h，有很薄的一層，除了延長(zhǎng)時(shí)間還有其他辦法提高他的速率嗎，我們這個(gè)射頻源最高只能150，再高可能就會(huì)燒壞線路 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶(hù)端 |
6樓2019-06-26 18:06:02
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7樓2019-08-18 08:46:49
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8樓2023-10-16 23:36:34
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