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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控濺射石墨靶沒膜
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[求助]
磁控濺射石墨靶沒膜
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磁控濺射用射頻源，功率70w到150w 氣壓1pa，氣體流量Ar30 ，濺射一小時，襯底用的不銹鋼和硅片，為什么沒濺射上膜呀，求各位幫助。是參數(shù)不對嗎 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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