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Q霜月新蟲 (初入文壇)
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[求助]
研磨單晶硅片時(shí)，<111>晶向和<100>晶向有差別嗎？ 已有2人參與
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制造單晶硅片時(shí)，研磨片過程中，<111>晶向和<100>晶向有差別嗎？ <111>晶向原子面密度大，是不是需要增大研磨時(shí)的壓力？ |
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Ace555
金蟲 (正式寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
Q霜月: 金幣+5, ★有幫助 2019-07-02 15:55:15
Q霜月: 金幣+5, ★有幫助 2019-07-02 15:55:15
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1：研磨機(jī)不論是高能球磨還是納米砂磨都無法觸及原子結(jié)構(gòu)，頂多也就二三十納米的層級(jí)，基本上不會(huì)影響晶型； 2：樓主提到的研磨壓力應(yīng)該是指增加棒銷旋轉(zhuǎn)速度從而增大研磨剪切力吧，若是自吸式砂磨機(jī)幾乎沒有壓力一說，若是機(jī)封式砂磨機(jī)，壓力也只是隔膜泵引入的輸送料和打出料的動(dòng)力，也幾乎不會(huì)對(duì)研磨力帶來影響。 更多關(guān)于研磨分散的問題，可以相互交流，參看這個(gè)網(wǎng)站：http://fee555.gotoip2.com/faded.asp |
2樓2019-06-15 15:04:12
3樓2019-06-25 10:12:01
BAIMAFEIMA
新蟲 (小有名氣)
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4樓2019-10-20 08:16:08
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