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兜兜里沒有錢新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射鍍膜鍍不上
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磁控修理了一下熱偶，腔室還在大氣壓下暴露過(guò)一段時(shí)間，以前可以鍍膜的條件現(xiàn)在鍍不上了。 以前0.5pa，150瓦，玻璃基底500度可以鍍上，現(xiàn)在400度都鍍不上了，試著降低了氣壓加大了功率也不行。難道儀器出問(wèn)題了 請(qǐng)求各位前輩給點(diǎn)意見，謝謝大家 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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兜兜里沒有錢
新蟲 (初入文壇)
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- 注冊(cè): 2019-05-14
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
3樓2019-05-28 14:36:27
2樓2019-05-28 14:12:38
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4樓2019-05-28 16:07:30
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