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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 重大裝備 » 磁控
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Everest_lI新蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控
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磁控今天抽了3個小時真空，才4.2E-3pa，之前抽3個小時6E-4pa，這是什么原因啊，求大佬幫分析下 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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Everest_lI
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5樓2019-05-21 15:41:41
Jason-wong
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2樓2019-05-21 14:50:16
Everest_lI
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3樓2019-05-21 14:58:48
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這種程度的漏氣你怎么可能檢查的到。聽我的，用硅脂把反應室密封圈清理干凈后均勻涂抹一遍，如果可以的話反應室里面用2000號砂紙仔細打磨一遍，一遍打磨一遍用無塵紙蘸著酒精清理，最后用吸塵器反復吸一遍。最后關上抽一次，第一次很慢必須的，第二次應該很快了 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2019-05-21 15:19:47
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