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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 功能薄膜 » 微波ECR與磁控濺射
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[交流]
微波ECR與磁控濺射
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我是剛接觸ECR的一個萌新，想問一下關(guān)于微波ECR與磁控濺射的鍍膜過程有什么區(qū)別，是不是等離子體的產(chǎn)生過程不同，我一直弄不清楚 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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