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學(xué)渣gogo新蟲 (小有名氣)
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[求助]
離子術(shù)輔助沉積氧化鋁\氮化鋁的離子原子到達(dá)比
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求助！想問(wèn)下影響離子術(shù)輔助沉積中離子原子到達(dá)比的因素有哪些？？ 我查了一些文獻(xiàn)，只查到了離子原子到達(dá)比對(duì)薄膜的影響。并沒(méi)有提到如何影響的離子原子到達(dá)比�；蛘吣銈冇袥](méi)有推薦的文獻(xiàn)。(???︿???) @hwweven 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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