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517828126新蟲 (小有名氣)
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[交流]
硅片有哪些清洗方式�。縍CA清洗標(biāo)準(zhǔn)中氨水雙氧水哪一步可以用什么替代？ 已有2人參與
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主要是氨水味道太重了，還有鹽酸硫酸都不好買。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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2樓2019-04-26 07:44:51
yswyx 
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
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如果你是想把片子重新利用的話，還不如直接仍，硅片的價格又不貴，你清洗的費用還比片子價值大多了。 如果是做過工藝的片子需要清洗，后續(xù)還要做工藝，比如去膠后的清洗，那就不要圖省事，不洗干凈后面麻煩更大。 所謂的超聲清洗，只能起到很差的清洗作用，你是做半導(dǎo)體材料的，不可能用超聲來應(yīng)付差事。 如果清洗方面條件有限，建議把前道工藝交給專業(yè)公司做。比如研材微納，你可以買片子，也可以委托做工藝。 清洗的條件對于實驗室來說是很麻煩的，除非很大規(guī)模硬件條件的實驗室，否則不建議自己建清洗條件。 |
3樓2019-04-30 16:46:03
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