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qiyonglian1985新蟲 (初入文壇)
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[交流]
求助：玻璃基板側(cè)面金屬沉積或濺射；孔內(nèi)金屬沉積 設(shè)備 已有3人參與
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大家好，請問想在玻璃基板的側(cè)面進行金屬沉積，厚度大概1~2um，有什么設(shè)備可以實現(xiàn)嗎？ 比如對向靶材或者旋轉(zhuǎn)蒸鍍？有哪家的設(shè)備可以推薦？ 另外在100um，深度500um的孔內(nèi)沉積金屬，有什么好的方法？ |
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4樓2019-04-23 18:08:28
2樓2019-04-23 14:26:48
qiyonglian1985
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 275.4
- 帖子: 40
- 在線: 28小時
- 蟲號: 487349
- 注冊: 2007-12-28
- 性別: MM
- 專業(yè): 資源化工
3樓2019-04-23 16:03:28
yswyx 
專家顧問 (著名寫手)
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專家經(jīng)驗: +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
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- 注冊: 2007-10-30
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
5樓2019-04-30 17:07:49
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