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hi?t?zju新蟲(chóng) (初入文壇)
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[交流]
磁控濺射時(shí)間與厚度有什么關(guān)系嗎
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請(qǐng)問(wèn)各位朋友，射頻磁控濺射鍍電介質(zhì)薄膜時(shí)，薄膜厚度與濺射時(shí)間有什么關(guān)系呢？會(huì)不會(huì)有一個(gè)極限厚度 再往后就鍍不下去了？甚至變��？這背后的原因是什么呢？還是說(shuō)只要鍍膜時(shí)間無(wú)限長(zhǎng) 薄膜就能無(wú)限厚？ 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
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理工小偉
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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靶材不中毒不耗盡會(huì)無(wú)限增厚，但過(guò)厚會(huì)導(dǎo)致薄膜應(yīng)力增大而脫落 發(fā)自小木蟲(chóng)IOS客戶端 |
6樓2019-07-15 17:51:26
tangtang0427
木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
君子和而不同
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2樓2019-04-23 10:37:25
dazuihou12
新蟲(chóng) (小有名氣)
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這影響因素應(yīng)該很多吧。你濺射的溫度，壓強(qiáng)，功率，會(huì)不會(huì)溫度壓強(qiáng)功率過(guò)高，在濺射的過(guò)程中能量太高沖壞已經(jīng)鍍好的一層?會(huì)流失掉一些，所以厚度可能不會(huì)一直變厚 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
3樓2019-05-04 13:58:10
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這個(gè)沒(méi)實(shí)驗(yàn)過(guò)，一般我們鍍最多不超過(guò)2h 發(fā)自小木蟲(chóng)Android客戶端 |
4樓2019-05-08 23:49:16
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