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圣埃蒂安M銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射鍍增透膜 已有2人參與
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近期一直做磁控濺射在玻璃上鍍增透膜,材料mgf2、sio2,可是增透效果低于玻璃,感覺像是在做遮光板并無增透效果,查閱各個文獻無果,只能求助神通廣大的木蟲,希望大家給點建議。![]() ![]() |
禁蟲 (知名作家)
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木蟲 (著名寫手)
銅蟲 (小有名氣)
銅蟲 (小有名氣)
銅蟲 (小有名氣)

銅蟲 (小有名氣)
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首先你得懂得增透的原理。 單層膜增透很關(guān)鍵的就是薄膜的厚度以及薄膜的折射率。 厚度需要精控這是首要的,我想你這邊問題應(yīng)該不大。 折射率這塊就很關(guān)鍵了,因為磁控濺射做的膜很容易折射率不達標。 Mgf2磁控濺射,沉積的原子配備不是1:2,F(xiàn)很容易缺失,造成折射率差理想值很多。一般采用蒸發(fā)的方式。 SiO2沉積過程也是,一定要通入一定的氧氣進行補償。如果你有測折射率,就知道其中的偏差值。 |

銅蟲 (小有名氣)
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