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RM美凌格新蟲 (正式寫手)
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[交流]
機(jī)械剝離二維材料做器件測不出i-v. 已有3人參與
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在做機(jī)械剝離法的同學(xué)，有沒有遇到過器件看起來明明接觸良好，但就是測i-v測不出來。電阻一直是13次方，應(yīng)該是相當(dāng)于沒導(dǎo)通吧？（機(jī)械剝離→光刻→蒸鍍→去膠（金）→組裝器件，看起來每一步?jīng)]什么問題，但就是測不出來，難道是接觸沒做好嗎？真心求指導(dǎo)，做了好多器件都這樣。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
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RM美凌格
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材料是InSe，采用熱蒸發(fā)鍍膜，Cr5nm，0.1埃/秒，Au60nm，0.8埃/秒。顯微鏡下看接觸良好，但就是測不出來，希望大神能夠指導(dǎo)一下。 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
2樓2019-04-03 07:50:36
568977122
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3樓2019-04-09 10:15:52
RM美凌格
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4樓2019-04-09 11:13:12
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5樓2019-04-09 15:43:51
xiangan315
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排除不是材料不連續(xù)導(dǎo)致的原因外，可能有以下幾種情況： 1：SeIn和Cr/Au沒有形成歐姆接觸，可以查詢以下相關(guān)數(shù)據(jù)，嘗試換一下接觸金屬種類，Cr與SeIn材料的接觸如果是非歐姆接觸的話，會出現(xiàn)上述情況。 2：測試過程中靜電燒毀器件，建議在顯微鏡下仔細(xì)觀察一下測試后的器件形貌有無異常，或者接觸器件所有過程戴上靜電手環(huán)。 3：鍍膜過程腔室真空度不好，導(dǎo)致Cr氧化，一般鍍Cr作為粘附層的話，最好先清洗Cr靶一段時間后，再往樣品上蒸鍍。 |
6樓2019-04-14 20:04:33
LightShade
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7樓2021-04-28 02:29:35
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