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昆西昆0v0新蟲 (初入文壇)
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[求助]
【求助】光刻時(shí)光源的光強(qiáng)可以遠(yuǎn)大于光刻膠標(biāo)定的光強(qiáng)嗎？ 已有1人參與
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使用的是n244光刻膠，用自制的紫光燈光刻（這次的光刻對精度沒有太高的要求，有大致的外形就行了）。我估算了一下紫光燈的光強(qiáng)大概是n244說明書上標(biāo)定光強(qiáng)的七到八倍左右。請問用這樣的紫光燈光刻，光刻之后還能顯影嗎？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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眾志啟成 
金蟲 (正式寫手)
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過曝情況圖形會(huì)不正常，正膠圖形的膠會(huì)沒有了，負(fù)膠會(huì)有膠留在基底上，但圖形應(yīng)該也會(huì)不理想 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
4樓2019-06-16 16:44:48
yswyx
專家顧問 (著名寫手)
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專家經(jīng)驗(yàn): +651 - MN-EPI: 8
- 應(yīng)助: 807 (博后)
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- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
- 管轄: 微米和納米
【答案】應(yīng)助回帖
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你測量的光強(qiáng)是mW/cm2，是強(qiáng)度，不是劑量。 而光刻膠說明書上的一般只寫劑量，沒有光強(qiáng)要求。 而光刻的時(shí)間是劑量/光強(qiáng)。 賣你光刻膠的人不教你怎么用嗎？建議選擇有技術(shù)支持的地方買，比如研材微納，不要找貿(mào)易商。 而且你的紫外燈是什么等，汞燈還是石英燈，你測量的光是哪個(gè)波長的？這些都和計(jì)算你的曝光時(shí)間有關(guān)。如果自己不會(huì)做，也可以找研材微納代工。 包括用膠片曝光還是用掩模版，差別也很大�？梢运叫盼夷愕穆�(lián)系方式，我讓專業(yè)的技術(shù)人員教你。 |
2樓2019-04-01 15:04:38
昆西昆0v0
新蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 影像醫(yī)學(xué)與生物醫(yī)學(xué)工程其
3樓2019-04-02 16:08:17
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