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lbaishankl金蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助在測4200時加柵壓電極炸掉是因為什么?
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| 我是做二維材料方向的,在測二維材料晶體管的時候(器件具體條件:300nmSiO2做絕緣層,背柵測試,手撕WSe2,電子束曝光直寫,熱蒸鍍電極Pd/Au)測試輸出曲線的時候情況正常,但是測轉移曲線的時候,在加gate的時候不定時出現(xiàn)炸器件的現(xiàn)象。就是器件的兩個電極帶著連接的材料炸飛。探針臺和銀漿引導線都試過,都會出現(xiàn)類似的情況。加柵壓范圍在+-80V之間。所用測試設備Keithely 4200. 我們之前去過其他組測試,別人的設備調(diào)試的好,不會炸電極。回來一測試,同樣的器件還是會不定時的炸。尤其是導電性好的器件。初步懷疑設備提調(diào)試問題。請問有木有大神知道怎么解決? |

木蟲 (知名作家)
金蟲 (知名作家)
半導體小王子

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