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學(xué)渣gogo新蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助大神鍍膜問題，靶功率靶電壓靶電流 已有1人參與
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我剛接觸材料，學(xué)的是反映磁控濺射這一塊，對靶電壓靶電流靶電壓影響因素搞不太懂 為什么金屬濺射轉(zhuǎn)化為化合物濺射，靶電壓上升？靶電流不是由燈絲的電子發(fā)射率決定嗎，為啥我看文章說是等離子密度決定，金屬濺射轉(zhuǎn)化為化合物濺射時靶電流減小？？ 靶功率由什么決定？還有當(dāng)靶功率一定時，金屬濺射轉(zhuǎn)化為化合物濺射，靶電壓為啥又降低了，和靶電流有關(guān)系嗎？？？ 問題比較多，謝謝大家！ |
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
為什么金屬濺射轉(zhuǎn)化為化合物濺射，靶電壓上升？ 屬濺射轉(zhuǎn)化為化合物濺射，靶面的濺射區(qū)形成化合物，進(jìn)入反應(yīng)濺射模式即化合物濺射模式，轟擊靶面的離子及轟擊陽極的電子都會得不到中和而聚集起來，建立越來越強的局部電場，極端情況為靶中毒以及陽極消失，靶電壓升高才能維持放電正常靶電流不是由燈絲的電子發(fā)射率決定嗎，為啥我看文章說是等離子密度決定，金屬濺射轉(zhuǎn)化為化合物濺射時靶電流減��？？ 同上一個問題，如果靶電壓不升高，靶電流就會減小，你可以把它簡化為電壓、電流、電阻的關(guān)系，這樣比較好理解。等離子密度高=空間放電電阻小。靶功率由什么決定？ 功率=電壓+電流 金屬濺射轉(zhuǎn)化為化合物濺射，靶電壓為啥又降低了，和靶電流有關(guān)系嗎？？？ 不知道這句什么意思，可能放電面積縮小的緣故另外，可否把你看的文章讓我看看，共同學(xué)習(xí)~ |
2樓2019-03-18 08:54:18
3樓2019-03-18 11:17:15
學(xué)渣gogo
新蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 267.6
- 帖子: 96
- 在線: 6.7小時
- 蟲號: 14514038
- 注冊: 2019-03-07
- 性別: MM
- 專業(yè): 半導(dǎo)體晶體與薄膜材料
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你好，想問下影響離子術(shù)輔助沉積中離子原子到達(dá)比的因素有哪些？？ 我查了一些文獻(xiàn)，只查到了離子原子到達(dá)比對薄膜的影響。并沒有提到如何影響的離子原子到達(dá)比�；蛘吣銈冇袥]有推薦的文獻(xiàn)。(???︿???) 發(fā)自小木蟲IOS客戶端 |
4樓2019-05-18 10:20:08
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