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Silicon rich oxide SRO作為光敏的結(jié)構(gòu)是什么樣的
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| 看了一些文獻(xiàn)，SRO作為光敏層都是Metal/SRO/Si的結(jié)構(gòu)，如果是Metal/SRO/ITO是否可以作為類似電池的結(jié)構(gòu)。同時(shí)SRO的工藝溫度一般是多少度，一定需要在高溫退火，形成納米硅嗎。煩請高人幫忙解答！ |
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2樓2019-03-09 19:11:10
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