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無機化學(xué)課本鐵蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射污染及清理
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請教一個關(guān)于磁控濺射的問題，各位大佬怎么看： 我們的磁控濺射是跟蒸鍍集成在一個設(shè)備上的，使用磁控濺射的時候會把蒸鍍的部分拿鋁箔紙包上，但是之后再用蒸鍍做薄膜的時候就很難做出來正常的樣品，不知道是不是磁控濺射污染的問題？ 還有就是每次磁控濺射結(jié)束后應(yīng)該怎么清理腔體？磁控濺射是跟手套箱結(jié)合在一起的，新手小白不清楚有沒有什么好的辦法解決。 多謝！��！ |
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