 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 綜合資源 » 磁控濺射TiN沉積失敗
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2058 | 回復: 10 | ||
| 【懸賞金幣】回答本帖問題，作者敖小歸將贈送您 10 個金幣 | ||
| 當前只顯示滿足指定條件的回帖，點擊這里查看本話題的所有回帖 | ||
[求助]
磁控濺射TiN沉積失敗 已有2人參與
|
||
|
用的TiN靶，射頻磁控濺射，純氬氣，壓強在3—4Pa，功率從50—100W都有嘗試。能起輝，輝光紫紅色，但是總是沉積不上，硅片上無任何東西，樣品托盤也無變化。濺射后靶材略有發(fā)黑。有時候功率高了靶材會發(fā)燙。請各位大佬指點一下，可能有哪些因素在影響？應該怎么調參數(shù)才合適？ 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
回復此樓» 猜你喜歡
北京工商大學中國輕工業(yè)聚合物發(fā)泡材料加工與應用重點實驗室2026年博士研究生招生
已經(jīng)有0人回復
-
北京工商大學中國輕工業(yè)聚合物發(fā)泡材料加工與應用重點實驗室2026年博士研究生招生
已經(jīng)有0人回復
-
冶金與礦業(yè)論文潤色/翻譯怎么收費?
已經(jīng)有175人回復
-
北京工商大學中國輕工業(yè)聚合物發(fā)泡材料加工與應用重點實驗室2026年博士研究生招生
已經(jīng)有0人回復
-
湖北省考公務員或事業(yè)編考試集合
已經(jīng)有0人回復
-
伯胺反應生成叔胺
已經(jīng)有0人回復
-
福建農(nóng)林大學莊建東教授課題組2026年博士研究生招生宣傳
已經(jīng)有0人回復
-
273求調劑
已經(jīng)有4人回復
-
0805總分292，求調劑
已經(jīng)有12人回復
-
本科太原理工采礦工程，求調劑
已經(jīng)有2人回復
-
一志愿西工大材料學，英一數(shù)二總分321分，求調劑。
已經(jīng)有3人回復
caojingpie
木蟲 (小有名氣)
- 應助: 4 (幼兒園)
- 金幣: 2302.9
- 散金: 15
- 帖子: 173
- 在線: 55.8小時
- 蟲號: 4213592
- 注冊: 2015-11-12
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬非晶態(tài)、準晶和納米晶
9樓2021-04-20 14:10:30
2樓2021-03-05 00:13:29
|
本帖內容被屏蔽 |
3樓2021-03-05 08:40:17
4樓2021-03-05 09:30:17
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 266求調劑 +5 | 哇塞王帥 2026-03-03 | 5/250 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[論文投稿]
EST拒稿重投
 5+3
|
15102603076 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
[考研] 學碩材料275調劑 +4 | 路三三 2026-03-03 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 298求調劑一志愿中海洋 +3 | lour. 2026-03-03 | 3/150 |
|
|
|
[基金申請] 沒有青基直接申請面上，感覺自己瘋了 +5 | kevin63t 2026-03-02 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 化工專碩348，一志愿985求調劑 +8 | 弗格個 2026-02-28 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 267求調劑 +6 | 釣魚佬as 2026-03-02 | 6/300 |
|
|
|
[考研]
材料工程專碩283求調劑
5+8
|
，��？ 2026-03-02 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 324求調劑 +4 | wxz2 2026-03-03 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 298求調劑 +7 | axyz3 2026-02-28 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 282求調劑 +4 | 2103240126 2026-03-02 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 285求調劑 +9 | 滿頭大汗的學生 2026-02-28 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 材料085601調劑 +5 | 多多子. 2026-03-02 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿中石油（華東）本科齊魯工業(yè)大學 +3 | 石能偉 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿東北大學材料專碩328，求調劑 +3 | shs1083 2026-03-02 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 299求調劑 +3 | Y墨明棋妙Y 2026-02-28 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 311求調劑 +6 | 亭亭亭01 2026-03-01 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 317一志愿華南理工電氣工程求調劑 +6 | Soliloquy_Q 2026-02-28 | 11/550 |
|
|
|
[考研] 307求調劑 +4 | 73372112 2026-02-28 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 304求調劑 +3 | 52hz~~ 2026-02-28 | 5/250 |
|