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xrq0525金蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于光刻膠選擇的問題,請(qǐng)教一下前輩們
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準(zhǔn)備制作微結(jié)構(gòu)材料,要直接用顯影后的光刻膠硅片做陰模,微結(jié)構(gòu)尺寸20微米,高度10微米,間距3微米,是用su-8還是AZ好一些呢?主要是精度要夠。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
金蟲 (著名寫手)
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也不說做不到,相對(duì)很難!畢竟正膠!我7u直徑22u高柱子是做過!但是同比降下來還沒試過! 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
金蟲 (著名寫手)
金蟲 (正式寫手)
金蟲 (著名寫手)
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我覺得沒有問題,深寬比也只有3!您是間距3,又不是留下來3!精準(zhǔn)控制就看工藝了 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
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